Nelle industrie dei semiconduttori, della microelettronica e farmaceutiche, i requisiti di purezza per i prodotti chimici di processo sono estremamente severi e anche l'inquinamento da tracce di ioni metallici porterà alla rottamazione del prodotto o al degrado della qualità. I normali riscaldatori PFA di tipo industriale-non sono in grado di soddisfare requisiti di pulizia così elevati, pertanto i riscaldatori PFA di grado-elettronico-di elevata purezza sono emersi come categoria speciale. Questi riscaldatori utilizzano resina PFA a purezza ultra-elevata e sono fabbricati in rigorose condizioni di produzione pulita, garantendo zero precipitazione ionica durante l'uso e diventando apparecchiature di riscaldamento standard per processi puliti di fascia alta-.
La differenza principale tra i riscaldatori PFA ad elevata purezza-e i normali prodotti industriali-risiede nella purezza delle materie prime. La resina PFA di grado elettronico- utilizza speciali processi di polimerizzazione e purificazione, con un contenuto estremamente basso di impurità metalliche, ioni fluoruro e residui organici. La precipitazione degli ioni metallici del PFA ad elevata{5}}purezza dopo un'immersione a lungo-termine è solitamente al livello di ppt (parti per trilione), mentre il normale PFA industriale può essere al livello di ppm, una differenza di milioni di volte. Questa caratteristica di precipitazione ultra{8}}bassa garantisce che il processo di riscaldamento non inquini le soluzioni chimiche ad alta{9}}purezza, soddisfacendo i rigorosi requisiti di pulizia della lavorazione dei wafer.
Nella produzione di semiconduttori, i riscaldatori PFA ad elevata-purezza sono ampiamente utilizzati in vari collegamenti di processi a umido. Le macchine per la pulizia dei wafer devono riscaldare varie soluzioni detergenti chimiche come SC1, SC2, perossido di idrogeno con acido solforico, ecc. I riscaldatori PFA ad elevata-purezza possono immergersi e riscaldare direttamente senza introdurre alcun inquinamento da metalli. Nei processi di riscaldamento della soluzione di rimozione e incisione del fotoresist, il PFA ad elevata-purezza mostra anche un'eccellente resistenza alla corrosione e pulizia. Inoltre, i riscaldatori PFA ad elevata purezza sono anche configurazioni standard nella produzione farmaceutica, nelle analisi di laboratorio e in altre occasioni che richiedono il riscaldamento di soluzioni ultrapure.
Il processo di produzione dei riscaldatori PFA ad elevata purezza- è soggetto a controlli molto più severi rispetto ai normali prodotti industriali. L'intero processo di produzione deve essere completato in un'officina pulita di Classe 100 o superiore per evitare l'inquinamento da particelle nell'ambiente. Tutti gli strumenti e le attrezzature devono utilizzare materiali fluoroplastici di elevata-purezza e non possono entrare in contatto con alcun metallo che possa causare inquinamento. Dopo la produzione, i prodotti devono essere sottoposti a una pulizia multicanale con acqua ultrapura-e a un imballaggio pulito per garantire che i prodotti consegnati ai clienti siano in uno stato pulito e possano essere utilizzati direttamente.
Anche la verifica della qualità dei riscaldatori PFA ad elevata-purezza richiede standard di test speciali. Oltre al convenzionale rilevamento del foro stenopeico e al rilevamento dello spessore, è anche necessario eseguire il test di precipitazione ionica, il test TOC (carbonio organico totale) e il test del numero di particelle per verificare il livello di pulizia. Solo i prodotti che hanno superato questi severi test possono essere utilizzati in processi puliti di fascia alta-. Naturalmente, anche il prezzo dei riscaldatori PFA ad elevata{5}}purezza è significativamente più alto di quello dei prodotti di livello industriale-, solitamente da 2 a 3 volte quello dei normali riscaldatori PFA.
Tabella 1 Confronto tra riscaldatori PFA di grado-industriale ed elettronico-
表格
| Indicatore di prestazione | PFA di grado-industriale | PFA elettronico di-grado elevato-purezza |
|---|---|---|
| Purezza della resina | Grado industriale standard | Grado di semiconduttore ultra-purificato |
| Precipitazione degli ioni metallici | livello di ppm | livello ppt |
| Ambiente di produzione | Officina ordinaria | Classe 100+ stanza pulita |
| Controllo delle particelle | Nessun requisito speciale | Controllo rigoroso del conteggio delle particelle |
| Applicazione tipica | Galvanotecnica, trattamento chimico superficiale | Pulizia dei wafer semiconduttori, settore farmaceutico |
| Costo relativo | 1× linea di base | 2–3× |
Grazie alla precipitazione ionica ultra-bassa e all'elevata pulizia, i riscaldatori PFA ad alta-purezza sono diventati un'apparecchiatura chiave indispensabile nei settori dei semiconduttori e della produzione di fascia alta-.
